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镀膜机离子源总装.pdfVIP

镀膜机离子源总装.pdf

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    本发明提供了镀膜机离子源总装，包括壳体和安装在壳体上的离子源，壳体为长方体结构，壳体一面开口、具有容纳腔，离子源位于所述壳体的容纳腔内，离子源的上端和下端各设有一个安装柱，安装柱穿过壳体，离子源通过两个安装柱架设在壳体上，壳体侧面上设有安装翼，所述开口一端沿着开口一周设有密封台。本发明壳体和离子源装配成一个总装，可形成一个标准件或定制件，直接将其安装在镀膜生产线的腔室壁面，无需其它零散部件进行支撑和密封，安装和维修方便，壳体上有抽真空孔、辅助孔等功能性设置。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112786421 A (43)申请公布日 2021.05.11 (21)申请号 201911085597.3 C23C 14/46 (2006.01) (22)申请日 2

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