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样品插置系统(10)包括通道(12)、密封元件(16)和真空设备(18)。通道(12)具有可以连接至诸如低温恒温器的腔室的端口(14)。真空设备(18)可以降低通道(12)中的压力。密封元件(16)布置在通道(12)中并且从通道密封出容积(V)。密封元件(16)包括用于搬运样品的载体构件。密封元件(16)配置为响应于通道(12)中的压力降低至小于由密封元件(16)密封出的容积(V)中的压力,向端口(14)移动载体构件。这有助于减少当将样品插置于腔室中时的存取时间。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112770839 B
(45)授权公告日 2023.04.04
(21)申请号 201980060720.8 克劳斯 ·伯恩哈德 ·艾本斯坦
(22)申请日
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