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2023-06-06 发布于四川
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本发明公开了一种准垂直二极管，包括：衬底层；缓冲层，所述缓冲层位于所述衬底层上；势垒层，所述势垒层位于所述缓冲层上，所述势垒层具有N面；沟道层，所述沟道层位于所述势垒层上，所述沟道层具有N面；第一阴极、阳极、第二阴极，所述第一阴极、所述阳极、所述第二阴极均位于所述沟道层上，且所述阳极位于所述第一阴极和所述第二阴极之间，所述第一阴极、所述第二阴极与所述沟道层之间为欧姆接触，所述阳极与所述沟道层之间为肖特基接触。本发明的准垂直二极管具有N面势垒层和沟道层，势垒层在2DEG下方，因此可以形成天然的背势

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112750894 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 202110064652.1 (22)申请日 2021.01.18 (71)申请人陕西

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