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具有加热元件的电光系统.pdfVIP

具有加热元件的电光系统.pdf

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    一种微机电系统(MEMS)反射镜组件可以包括框架和耦合到所述框架的MEMS反射镜。所述MEMS反射镜组件还可以包括至少一个压电致动器，所述压电致动器包括主体和压电元件。当经受电场时，所述压电元件可以被配置为使所述主体弯曲，由此使所述MEMS反射镜相对于所述框架的平面移动。所述MEMS反射镜组件还可以包括至少一个加热电阻器，所述加热电阻器被配置为当电流穿过所述至少一个加热电阻器时加热所述压电元件。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112771406 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 201980064254.0 (74)专利代理机构 北京市铸成律师事务所

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