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提供一种半导体存储器装置,所述半导体存储器装置包括:多个位线结构,在基底上包括沿第一横向方向平行地延伸的位线;以及多个掩埋接触件和多个接合垫。所述多个掩埋接触件在基底上填充所述多个位线结构之间的空间的下部,所述多个接合垫填充所述多个位线结构之间的空间的上部并在所述多个位线结构上延伸。所述多个接合垫具有六边形阵列结构,所述多个接合垫之中的彼此相邻的第一接合垫、第二接合垫和第三接合垫的各自的顶表面的中心点通过不等边三角形连接。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112768450 A
(43)申请公布日 2021.05.07
(21)申请号 202010636931.6
(22)申请日 2020.07.03
(30)优先权数据
10-2019-0
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