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制备多晶硒化锌的物理气相沉积装置及方法.pdfVIP

制备多晶硒化锌的物理气相沉积装置及方法.pdf

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    本公开提供了一种制备多晶硒化锌的物理气相沉积装置及方法。制备多晶硒化锌的物理气相沉积装置包括沉积炉以及抽真空系统。沉积炉与抽真空系统连通，沉积炉的内壁设有保温层，沉积炉自下而上包括蒸发室和沉积室，蒸发室设有坩埚组件以及第一加热器，第一加热器环绕在坩埚组件的外周，坩埚组件包括坩埚和盖设在坩埚上端的坩埚盖，坩埚用于盛放硒化锌原料，坩埚盖设有连通沉积室的通孔；沉积室设有沉积器和第二加热器，沉积器沿上下方向延伸，第二加热器环绕在沉积器的外周；沉积炉还设有将沉积室与蒸发室间隔开的隔热层，隔热层开设有与通孔

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112746322 B (45)授权公告日 2022.08.26 (21)申请号 202011612720.5 (56)对比文件

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