支撑装置、投影光学系统、曝光装置、物品制造方法及调整方法.pdfVIP

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2023-06-06 发布于四川
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支撑装置、投影光学系统、曝光装置、物品制造方法及调整方法.pdf

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本发明提供支撑装置、投影光学系统、曝光装置、支撑装置的调整方法以及物品制造方法。支撑物体的支撑装置具备分别支撑上述物体的互不相同的部位的至少3个支撑机构。上述至少3个支撑机构分别包括：以在第1方向具有自由度的方式由第1平行板簧机构支撑的可动部；经由第2平行板簧机构而与上述可动部连接的输入部；调整上述输入部的位置的进给丝杠；中间体；将上述物体与上述中间体连结的第1弹性铰链；以及将上述中间体与上述可动部连结的第2弹性铰链。上述第2平行板簧机构的刚性低于上述第1平行板簧机构的刚性。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112764318 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 202011104126.5 (22)申请日 2020.10.15 (30)优先权数据 2019-1921

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