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本发明公开了一种锂离子电池硅碳负极材料及其制备工艺和设备，负极材料包括基材和混合沉积在基材表面的纳米硅和纳米碳，所述基材为碳材料，所述纳米硅和纳米碳通过等离子增强化学气相沉积工艺混合沉积在基材表面，所述等离子增强化学气相沉积工艺过程中，基材在沉积区为流态化运动状态，所述等离子增强化学气相沉积工艺在流态化等离子气相沉积炉内进行，所述流态化等离子气相沉积炉内设有正极板、负极板和搅拌上料机构，所述基材在负极板振动作用和搅拌上料机构作用下在沉积区作流态化循环运动。本发明通过在基材表面混合沉积纳米碳和纳米
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112768666 A
(43)申请公布日 2021.05.07
(21)申请号 202110136458.X C23C 16/54 (2006.01)
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