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电镀装置及清洗方法.pdfVIP

电镀装置及清洗方法.pdf

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    本发明提供一种电镀装置及清洗方法，电镀装置包括晶圆夹具、储液罐、清洗管、控制阀及喷嘴；在储液罐中设置与电镀液相接触的清洗管中间段，通过具有预设温度的电镀液对清洗管中间段进行加热，以获得加热的清洗液，能有效提高资源利用率，无需额外添加加热设备，从而可降低成本、减少设备占地面积；通过喷嘴提供与电镀液具有相同温度的清洗液，用以清洗晶圆夹具中的导电触针及密封件，以有效去除残留物，降低对清洗液进行温控的难度；通过调控晶圆夹具的转速及喷嘴处清洗液的流量，提高清洗效率及清洗效果，且可有效降低清洗液对位于储液罐

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112779579 A (43)申请公布日 2021.05.11 (21)申请号 20191

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