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本发明属于测量装置技术领域，具体涉及一种基于光声效应的气体流速传感器，包括容器壁、入气孔、出气孔、激光器以及超声探测器，所述容器壁的一侧设置有入气孔，所述容器壁远离入气孔的一侧设置有出气孔，所述容器壁内壁的底侧设置有激光器以及超声探测器，激光器紧贴在容器壁一侧的一边，超声探测器紧贴于容器壁远离激光器的边缘。本发明通过控制外界待测气体的流速来改变光声响应颗粒的速度，进而通过对光声响应颗粒产生的超声频率的测量实现对气体流速的测量，进而可以测量到及其微小的加速度变化。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112763750 A
(43)申请公布日 2021.05.07
(21)申请号 202011498573.3
(22)申请日 2020.12.17
(71)申请人 吕岩
地址 710
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