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一种锂离子固态电解质栅介质调控晶体管及其制备方法.pdfVIP

一种锂离子固态电解质栅介质调控晶体管及其制备方法.pdf

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    一种固态电解质栅介质调控晶体管及其制备方法，从下到上依次设置的基板、栅电极、绝缘层和有源层，所述有源层上设置有源电极和漏电极，所述绝缘层的材料包括锂离子固态电解质薄膜。本发明利用锂离子固态电解质作栅介质，该类电解质具有良好的离子导电性，适合于大部分晶体管器件，得到的晶体管拥有较好的工作性能，较低的工作电压以及能适应较苛刻的工作环境。本发明中的锂离子固态电解质可以为半导体中的电子流通提供通道，导通压降较其他栅介质低，且性质稳定，保存时间长，具有较优异的工作性能，可适应高低温，突触特性明显。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115763542 A (43)申请公布日 2023.03.07 (21)申请号 202211303883.4 (22)申请日 2022.10.24 (71)申请人 中南大学 地址 410000 湖

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