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一种防止反应气体泄露的等离子体处理装置及其方法.pdfVIP

一种防止反应气体泄露的等离子体处理装置及其方法.pdf

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    本发明提供一种防止反应气体泄露的等离子体处理装置，包含腔体和衬套，所述衬套上方设有介电窗，所述腔体、衬套和介电窗围绕形成反应腔；所述反应腔内底部包括用于放置晶圆的基座，基座下方包括用于抽出反应腔内气体维持反应腔内低压的抽真空装置；所述衬套一侧的侧壁设有开口，用于容纳晶圆进出，所述衬套外设有一遮挡板，用于对所述开口进行密封；所述腔体内还设置与遮挡板连接的导向机构，通过所述导向机构实现遮挡板进行竖直运动和水平运动，完全封堵衬套侧壁上的开口。本发明还提供一种防止反应气体泄露的方法。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112768330 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 20191

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