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本发明属于飞秒激光应用技术领域，涉及一种交变电场辅助飞秒激光加工微通道的系统及方法。本发明系统由交变电场电路系统与飞秒激光光路系统组成，包括飞秒激光器，光学元件，电压板，交流电源，变频器与纳米平移台等；本发明的微通道加工方法利用高频交变电流实现周期性变化的外加电场，使飞秒激光加工过程中的带电烧蚀产物在周期性高频交变电场的作用下进行相应频率的小幅度往复振动，或是使烧蚀产物极化后出现电荷不均匀导致受力不平衡出现往复振荡，实现加工产物的解离与碎片化，进而带动气泡等电中性烧蚀产物的振动解离过程。该方法可
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112756819 B
(45)授权公告日 2022.02.08
(21)申请号 202011558358.8 B23K 26/06 (2014.01)
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