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图案化的方法.pdfVIP

图案化的方法.pdf

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    本发明提供一种图案化的方法，包括：于基底上依序形成目标层、第一层、第二层、第三层以及第一掩膜图案。于第一掩膜图案的侧壁上形成第一间隙壁。移除第一掩膜图案，以于第一间隙壁中形成环绕中心开口的多个周边开口。进行圆角化工艺，以圆角化周边开口并形成第二掩膜图案。以第二掩膜图案为掩膜，移除部分第二层，以形成第三掩膜图案。于第三掩膜图案中形成第二间隙壁。移除第三掩膜图案。以第二间隙壁为掩膜，移除部分第一层与部分目标层。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112768352 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 20191

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