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旋转轴及包含所述旋转轴的基板支撑装置.pdfVIP

旋转轴及包含所述旋转轴的基板支撑装置.pdf

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    本发明提供了一种旋转轴及包含旋转轴的基板支撑装置，旋转轴包括：设有通气管道的中心转轴；设置于中心转轴的外围的中空外轴，且中空外轴与中心转轴具有设定的间距；环绕中空外轴内壁且连通通气管道的导气槽；设置于中空外轴且连通导气槽的供气管道；成对设置于中心转轴的密封环凸，通气管道进气口在中心转轴轴线方向上位于成对的密封环凸之间；成对设置于中空外轴的密封环槽，导气槽在中心转轴轴线方向上位于成对的密封环槽之间；密封环凸嵌设于密封环槽中。本发明通过在旋转轴中的导气槽与供气管道的邻近位置设置密封环凸与密封环槽，在

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112786512 A (43)申请公布日 2021.05.11 (21)申请号 20191

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