在光刻系统中提供高精度延迟的装置和方法.pdfVIP

在光刻系统中提供高精度延迟的装置和方法.pdf

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用于控制激光器系统中的脉冲的方法和装置，包括控制多腔室激光器系统中的触发脉冲的相对定时，以控制多个腔室的相应激发的延迟，其包括现场可编程门阵列和可编程延迟电路的组合的使用。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112771736 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 201980063240.7 (74)专利代理机构北京市金杜律师事务所

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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