- 1、本文档共8页,其中可免费阅读7页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提供了一种GaNHEMT和Si‑CMOS单片集成方法,所述方法包括以下步骤:步骤S100,在硅衬底上外延生长GaN外延层结构;步骤S200,蚀刻所述GaN外延层结构形成GaNHEMT器件区域和Si‑CMOS器件区域;步骤S300,在GaNHEMT器件区域制备GaNHEMT;步骤S400,在Si‑CMOS器件区域制备Si‑CMOS。本发明通过蚀刻GaN外延层结构形成GaNHEMT器件区域和Si‑CMOS器件区域,以在同一衬底上制备GaNHEMT和Si‑CMOS,实现GaNHEM
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112768410 A
(43)申请公布日 2021.05.07
(21)申请号 202011613237.9
(22)申请日 2020.12.30
(71)申请人 深圳市汇芯通信技术有限公司
您可能关注的文档
- 一种六自由度调节装置.pdf
- 一种海洋资源资产负债表编制的数据处理系统、方法、程序和存储介质.pdf
- 一种多工位旋转的自动打胶设备.pdf
- 一种条柱状果蔬缺陷识别修整机构.pdf
- 一种终端测试方法、装置、终端设备和存储介质.pdf
- 基于环境感知的输送控制系统.pdf
- 一种低表面活性剂浓度下金纳米棒材料的制备方法.pdf
- 粘结剂循环涂抹设备.pdf
- 用于滤波器的耦合结构、滤波器及射频器件.pdf
- 一种闸机控制方法、装置、设备和介质.pdf
- 医学研究统计方法综合运用与结果表达03医学论文中常见统计学错误.pptx
- 医学代谢组学技术与研究系列讲座02ROC曲线分析.pptx
- 冰雪舞蹈与数字媒体艺术的结合论文.docx
- 2025年摄影师(初级)职业技能鉴定试卷:摄影作品版权登记与保护.docx
- 2025年事业单位教师招聘政治学科专业知识试卷(政治思想).docx
- 2025年日语能力测试N2级阅读专项试卷:日语阅读与语法巩固.docx
- 2025年西班牙语DELEC9级口语实战试卷:2025年备考策略.docx
- 2025年无损检测员(中级)无损检测行业标准试卷.docx
- 2025年高考文学类文本阅读(小说)复习.pdf
- 2025年医保知识考试题库及答案(医保谈判药品价格谈判)试卷.docx
文档评论(0)