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具有垂直铰链的MEMS显示装置.pdfVIP

具有垂直铰链的MEMS显示装置.pdf

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    一种微机电系统装置，包括：基板，每个电路，止蚀层和安装在该基板上的铰链基座；以及与该电路连接的电极。铰链安装在基座上，并由掺杂半导体制成。铰链包括从基座垂直延伸的垂直支撑件，水平延伸的铰接片接触垂直支撑件。该装置还包括可移动的反射镜和反射镜通孔，该反射镜通孔将反射镜连接到铰接片。响应于在电极与反射镜之间施加电压，反射镜被静电吸引到电极上，反射镜的移动改变了铰接片与垂直支撑件之间的相对位置。止动件安装在基板上，在反射镜接触电极或止蚀层之前机械地停止反射镜移动。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112771428 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 201980064026.3 (74)专利代理机构 广州三环专利商标代理有限

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