一种同时生产电子级硅烷和电子级一氯硅烷的系统和方法.pdfVIP

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2023-06-06 发布于四川
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一种同时生产电子级硅烷和电子级一氯硅烷的系统和方法.pdf

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本发明公开了一种同时生产电子级硅烷和电子级一氯硅烷的系统，包括：氢化系统、歧化塔一、歧化塔二、硅烷分离提纯装置、一氯硅烷分离提纯装置、冷凝器一和冷凝器二；其中，冷凝器一固定在歧化塔一的顶端，并与歧化塔一连通；冷凝器二固定在歧化塔二的顶端，并与歧化塔二连通；氢化系统的顶端出口与歧化塔一的入口连通；歧化塔一的顶端出口与歧化塔二的入口连通，底端出口与氢化系统的入口连通；歧化塔二的底端出口与歧化塔一的入口连通，顶端出口与硅烷分离提纯装置的入口连通；硅烷分离提纯装置的底端出口与一氯硅烷分离提纯装置的入口连

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112758936 A (43)申请公布日 2021.05.07 (21)申请号 202011623066.8 B01D 3/32 (2006.01) (22)申请日 20

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