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一种碳化硅切割液分离方法.pdfVIP

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本发明提供了一种碳化硅切割液分离方法,涉及碳化硅切割液处理技术领域。碳化硅切割液分离方法包括:混合碳化硅切割液和第一溶液得到第一混合溶液。第一溶液的密度大于切割油的密度且小于碳化硅的密度。静置第一混合溶液,以使第一混合溶液分层形成切割油分层和混合分层。分离切割油分层和混合分层以分离切割油。混合混合分层和第二溶液得到第二混合溶液。第二溶液的密度大于碳化硅的密度且小于金刚石的密度。静置第二混合溶液,以使第二混合溶液分层形成碳化硅分层和金刚石分层。分离碳化硅分层和金刚石分层,以分离碳化硅和金刚石。本发

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112755639 B (45)授权公告日 2022.08.09 (21)申请号 202011628535.5 C01B 32/956 (2017.01)

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