- 1、本文档共9页,其中可免费阅读8页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明提出一种兼具自动调平功能的扫描式自动对焦方法及装置,该装置包括:激光光源,用于产生对焦光束;合束装置,用于将对焦光束与光学系统工作光束合束;扫描系统,通过改变对焦光束的角度,使对焦光斑在对焦平面上移动;聚焦系统,用于将对焦光束聚焦为在物镜后焦面的对焦光斑;共焦强度探测装置,用于将对焦光斑共焦成像,并探测像点位置的光强变化;反馈运动机构,用于将探测到的光强变化转化为相应的反馈控制信号,并根据信号驱动运动机构,带动对焦对象旋转或平移,完成自动调平和自动对焦。本发明通过扫描系统控制对焦光束扫描,
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112748510 A
(43)申请公布日 2021.05.04
(21)申请号 202110082913.2
(22)申请日 2021.01.21
(71)申请人 浙江
文档评论(0)