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一种兼具自动调平功能的扫描式自动对焦方法及装置.pdfVIP

一种兼具自动调平功能的扫描式自动对焦方法及装置.pdf

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本发明提出一种兼具自动调平功能的扫描式自动对焦方法及装置,该装置包括:激光光源,用于产生对焦光束;合束装置,用于将对焦光束与光学系统工作光束合束;扫描系统,通过改变对焦光束的角度,使对焦光斑在对焦平面上移动;聚焦系统,用于将对焦光束聚焦为在物镜后焦面的对焦光斑;共焦强度探测装置,用于将对焦光斑共焦成像,并探测像点位置的光强变化;反馈运动机构,用于将探测到的光强变化转化为相应的反馈控制信号,并根据信号驱动运动机构,带动对焦对象旋转或平移,完成自动调平和自动对焦。本发明通过扫描系统控制对焦光束扫描,

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112748510 A (43)申请公布日 2021.05.04 (21)申请号 202110082913.2 (22)申请日 2021.01.21 (71)申请人 浙江

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