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本发明提供一种水平式湿制程设备的药液供给系统，包括横向依序并排有多个槽室的主设备单元及包括多组由药液添加槽、计量杯及液位浮球组件所形成的计量结构的药液添加单元。药液添加槽安装于槽室上。计量杯安装位置低于药液添加槽。计量杯内设有可调高度的活塞且于下方形成计量空间，计量杯另设有供液管及输液管与计量空间相连通，供液管连接于药液添加槽与计量杯之间；输液管连接于计量杯与槽室的设备槽之间；液位浮球组件安装于计量杯上且与计量空间内连通；藉此，供液管开启，输液管关闭，药液添加槽内药液会利用重力流至计量杯，在注满
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112839442 A
(43)申请公布日
2021.05.25
(21)申请号 20191
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