一种基于颗粒级配堆积模型制备氧化铟锡靶材的方法.pdfVIP

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2023-06-07 发布于四川
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一种基于颗粒级配堆积模型制备氧化铟锡靶材的方法.pdf

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本发明公开了一种基于颗粒级配堆积模型制备氧化铟锡靶材的方法。其特征如下：采用三元和二元颗粒级配堆积模型研究ITO颗粒的堆积过程，三元颗粒级配堆积模型中三种球形颗粒的粒径之比满足关系三种球形粉体颗粒数之比为1:(1～2):(1～2)；二元颗粒级配堆积模型中两种球形颗粒的粒径之比满足关系或者两种球形粉体颗粒数之比为1:(1～6)。分散剂聚乙烯吡咯烷酮和粘接剂聚乙烯醇的添加量分别为氧化铟锡复合粉体质量的0.1～3.5％。造粒粉体采用模压和冷等静压联合成型，然后烧结。本发明制得高密度和低电阻率ITO靶材

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112811896 A (43)申请公布日 2021.05.18 (21)申请号 202110071125.3 (22)申请日 2021.01.20 (71)申请人北京化工大学地址

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