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本发明公开了一种基于级联分光结构的半导体光放大器阵列。包括依次连接的M级功分器、半导体光放大器和N级功分器。M级功分器和N级功分器中间放置半导体光放大器阵列,N级功分器的数量与半导体光放大器对应,实现单个波导的功率放大,通过选择M和N的大小,优化调节半导体光放大器阵元的数目,进而实现光束总功率的放大。本发明基于光波导技术,具有器件结构紧凑、易于大规模集成、成本低等特点,本发明的光放大器阵列可优化调节阵元数,有效增加输出光功率,减小单个波导承受的光功率,并且降低工艺实现难度。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112821202 A
(43)申请公布日 2021.05.18
(21)申请号 202110180623.1
(22)申请日 2021.02.09
(71)申请人 浙江大学
地址 31
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