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一种步进电机内嵌驱动式二自由度定位平台.pdf

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    本发明公开一种步进电机内嵌驱动式二自由度定位平台，包括基座、工作平台、x向定位平台、x向静平台、y向定位平台、y向静平台、贯通式步进电机、滚珠丝杠、交叉滚柱导轨、端盖以及两自由度柔性解耦机构；贯通式步进电机通过螺钉分别内置于x向定位平台下方与y向定位平台下方；x向定位平台与y向定位平台通过交叉滚柱导轨分别置于x向静平台上方与y向静平台上方；x向静平台与y向静平台均设置于基座上；滚珠丝杠安装在x向静平台和y向静平台上并与贯通式步进电机相配合；y向定位平台上安装有导轨，工作平台连接在y向定位平台上方

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112809650 A (43)申请公布日 2021.05.18 (21)申请号 202110183588.9 (22)申请日 2021.02.08 (71)申请人 天津大学 地址 30

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