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本发明涉及一种拾取晶圆盒中透气材料的装置,该装置包括伯努利盘(1)、导流盘(2)和气管接头(3),所述的导流盘(2)固定在伯努利盘(1)下表面中间区域并与伯努利盘(1)之间形成空气流通间隙,所述的空气流通间隙通过气管接头(3)连接连通至气源,所述的导流盘(2)用于将输入至空气流通间隙中的气流向伯努利盘(1)周侧导通分散。与现有技术相比,本发明实现了透气材料的自动化拾取,无需人工参与,大大提高生产效率,降低人力成本。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112802791 A
(43)申请公布日 2021.05.14
(21)申请号 202110166392.9
(22)申请日 2021.02.04
(71)申请人 芯钛科半导体设备(上海)有限公司
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