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本发明公开了一种MicroLED颜色均匀性检测系统,包括沿待检测的MicroLED光源的光路方向顺次设置的微透镜阵列、超表面微透镜阵列和探测器件;微透镜阵列靠近MicroLED光源的一侧设置有多个周期性间隔排列且与MicroLED光源中的发光单元一一对应的微透镜,每个微透镜将MicroLED光源中的一个发光单元输出的发散光调制为平行光;超表面微透镜阵列远离微透镜阵列的一侧设置有多个周期性间隔排列且与微透镜阵列中的微透镜一一对应的超表面结构,用于将各微透镜输出的平行光分开投射在探测器件的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112798234 B
(45)授权公告日 2022.08.05
(21)申请号 202110182271.3 (51)Int.Cl.
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