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本发明公开了一种用于海鲜新鲜度检测的半导体气体传感器的制备方法，本发明开发了一种对三甲胺气体具有超快响应和良好选择性的半导体核壳结构纳米材料Co3O4@ZnO，该材料通过氧化核壳结构ZIF67@ZIF8制得，具有多孔性和空心结构；将Co3O4@ZnO纳米材料与松油醇混合研磨均匀，形成有一定粘度的浆料；采用基于MEMS技术的集成有微加热器的硅基底叉指电极芯片作传感器芯片，将上述制备的浆料涂覆于叉指电极中间位置，获得性能稳定的传感器件。本发明制备的传感器检测三甲胺气体时具有良好的选择性，不受乙醇、氨
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112816525 A
(43)申请公布日 2021.05.18
(21)申请号 202011625478.5
(22)申请日 2020.12.31
(71)申请人 杭州电子科技大学
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