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一种Microled或Miniled缺陷检测方法及装置.pdfVIP

一种Microled或Miniled缺陷检测方法及装置.pdf

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    本发明公开了一种Microled或Miniled缺陷检测方法及装置，其设置与待测试模组对应的波长选择模块、聚焦模块和探测模块，波长选择模块、聚焦模块和探测模块分别设置有与待测试Microled或Miniled的发光基本单元一一对应的波长选择单元、聚焦单元和探测单元；利用波长选择单元选择性透射发光基本单元出射的一个或多个不同波段范围的光至聚焦单元的不同子单元，通过将聚焦单元的不同子单元所接收到的光聚焦至探测单元的不同子单元，通过探测单元不同子单元的光强探测数据得到发光基本单元出射的对应不同波段范围

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112798235 B (45)授权公告日 2021.07.06 (21)申请号 202110293987.0 (51)Int.Cl.

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