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本发明涉及一种用于芯片生产的检测设备,包括基座、装载台、固定杆、支杆、物镜和目镜,还包括防护机构和清洁机构,所述防护机构包括防护组件、放置盒、两个控制组件和若干第一弹簧,所述清洁机构包括气缸、压板、气囊、固定管、两个软管、两个喷嘴和若干第二弹簧,该用于芯片生产的检测设备通过防护机构,实现了对物镜和目镜遮挡的功能,减小物镜和目镜被划伤的几率,从而减小设备损坏的几率,避免对检测工作造成影响,从而提高了设备的可靠性,通过除尘机构,实现了对芯片除尘的功能,避免芯片被灰尘覆盖而影响检测结果,提高了设备的可
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112798590 A
(43)申请公布日 2021.05.14
(21)申请号 202011548672.8
(22)申请日 2020.12.24
(71)申请人 南京群博新能源技术开发有限公司
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