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薄膜晶体管器件的制作方法、薄膜晶体管器件及显示装置.pdfVIP

薄膜晶体管器件的制作方法、薄膜晶体管器件及显示装置.pdf

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    一种薄膜晶体管器件的制作方法、薄膜晶体管器件及显示装置，其包括设于基板上的栅极，设置于栅极和基板上的绝缘层，设于绝缘层上的有源层，其中，有源层中掺杂有锂元素，有源层包括顶层有源层和底层有源层，底层有源层为掺杂锂元素的氧化锌铟，顶层有源层为掺杂锂元素的氧化锌锡，底层有源层覆盖于绝缘层上，顶层有源层覆盖于底层有源层上，顶层有源层上设置有源极和漏极，绝缘保护层设于源极和漏极上，通过在有源层中掺杂锂元素，以置换有源层中的锌，从而降低了有源层的退火温度，提升了薄膜晶体管器件的的载流子迁移率、开关比，解决了

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112802904 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 202011595908.3 (22)申请日 2020.12.29 (71)申请人 重庆先进光电显示技术研究院

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