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一种硅片去边机新型暂存台.pdfVIP

一种硅片去边机新型暂存台.pdf

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    本发明提供了一种硅片去边机新型暂存台，包括安装座和台板，所述安装座与去边机台面固定安装；所述支撑台通过升降柱安装于安装座的上方，所述升降柱为多根并等间距设置，通过多根升降柱调节台板的高度和水平度。本发明所述的硅片去边机新型暂存台能够显示吸盘吸取硅片时，对暂存台不同方位的压力数值，可根据此压力数值，进行暂存台倾角的调整，使得调节过程可视化、数字化，也能够使调节更加准确。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112802784 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 202110136961.5 (22)申请日 2021.02.01 (71)申请人 中环领先半导体材料有限公司

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