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本发明公开了一种多级罗茨真空泵,包括主动轴、从动轴和若干依次贴合的端盖,主动轴和从动轴通过两者端部啮合的一对同步齿轮同步转动,主动轴和从动轴贯穿所有端盖,每个端盖的前侧面均向后凹陷,该凹陷处与前一个端盖的后侧面之间形成泵腔,每个泵腔内均设有一对罗茨转子,罗茨转子分别安装于主动轴和从动轴;所述泵腔的深度从前往后依次递减;在每个端盖内还开设有气体通道,气体通道的入口与前侧的泵腔连通,出口与后侧的泵腔连通。本发明将泵体与端盖结合为一体,且仅通过简单的打孔工艺形成从上一级泵腔排气到下一级进气的气体通道,
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112796997 A
(43)申请公布日 2021.05.14
(21)申请号 202110145274.X F04C 29/12 (2006.01)
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