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一种系列2,3-二取代丁二酰亚胺铪或锆混配配合物及其制备方法和应用.pdfVIP

一种系列2,3-二取代丁二酰亚胺铪或锆混配配合物及其制备方法和应用.pdf

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    本发明公开一种系列2,3‑二取代丁二酰亚胺铪或锆混配配合物及其制备方法和应用，在惰性气体的保护下，将定量的2,3‑二取代丁二酰亚胺与二胺铪或锆化合物加入无水溶剂中；加入无水溶剂后，反应一段时间后，过滤，将滤液用减压蒸馏除去溶剂和副产物，得灰白色固体；将得到的灰白色固体，经过重结晶升华，得到目标金属配合物。本发明目的是提供一系列对衬底的污染小、合成方法简便，工艺操作简单，产率高，成本低的2,3‑二取代丁二酰亚胺铪或锆混配配合物及其合成方法以及在制备高K材料的应用。此系列前驱体是配体的位阻大而形成单

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112794866 B (45)授权公告日 2022.06.03 (21)申请号 202011639462.X C23C 16/40 (2006.01)

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