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2023-06-07 发布于四川
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本公开提供了一种基于周期性弹性波反射结构的静电式谐振器，包括：谐振单元；电极，与谐振单元电连接；介质层，设于谐振单元与电极之间；支撑结构，支撑结构的一端与谐振单元相连，支撑结构的另一端固定在基底上；基底包括至少一个层状结构；周期性弹性波反射结构，设置在基底上；其中，周期性弹性波反射结构包括至少一个最小重复单元，最小重复单元为孔状结构。本公开的周期性弹性波反射结构能够在谐振器基底形成阻带，从而进一步降低谐振器锚点损耗，大幅度稳定提升谐振器品质因子。该谐振器具有普适性，解决了MEMS谐振器高频下保持

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112838841 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 202011642706.X (22)申请日 2020.12.31 (71)申请人中国科学院半导体研究所

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