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本发明涉及一种能够实时调控结晶固液界面的单晶生长装置及使用方法。所述装置包括坩埚、生长模具和传动系统；通过传动系统和生长模具的协同作用，实现了生长模具在晶体生长过程中不同生长状况下高度上下可调的功能有效克服β‑Ga2O3单晶生长中固液界面失稳问题，利用导模法等传统晶体生长技术，极大地提高大尺寸β‑Ga2O3单晶生长过程稳定性及单晶完整性。克服了晶体生长过程中固液界面失稳所导致的晶体螺旋生长、质量波动、缺陷密度高、晶体开裂等问题，提高单晶长度及晶体质量。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112795986 A
(43)申请公布日 2021.05.14
(21)申请号 202011645077.6
(22)申请日 2020.12.31
(71)申请人 山东大学
地址 25
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