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多功能酸洗台装置.pdfVIP

多功能酸洗台装置.pdf

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    本发明提供了一种多功能酸洗台装置，包括设备本体和控制装置，其中：设备本体中部设置有操作平台，操作平台上设置有酸槽和水洗槽；操作平台的上方设置有控制样品运动的机械臂；操作平台的周向侧壁设置有抽气系统；控制装置控制机械臂的运动，控制对酸槽、水洗槽的清洗程序。本发明解决了手动酸洗台酸槽种类少，针对晶圆尺寸单一，制程流程不连贯，使用过程繁琐等诸多问题，大大提升了使用设备时的安全性和便利性。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112802780 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 202110171930.3 (22)申请日 2021.02.08 (71)申请人 淄博绿能芯创电子科技有限公司

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