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本发明公开一种互连结构以及其制作方法,其中该互连结构包括第一层间介电层、第一导线、保护层、第二层间介电层与连接插塞。第一导线部分设置于第一层间介电层中。保护层设置于第一导线以及第一层间介电层上。保护层覆盖第一导线的上表面与侧壁。保护层具有凹陷于垂直方向上与第一导线对应设置。第二层间介电层设置于保护层上。连接插塞贯穿第二层间介电层的至少一部分与保护层,用以与第一导线连接。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112838048 A
(43)申请公布日
2021.05.25
(21)申请号 20191
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