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一种工艺,包括以下步骤:a.提供半导体结构,该半导体结构包括:i.沟道;ii.势垒iii.势垒层上的非导电结构,该非导电结构包括具有被隔开第一距离的各侧壁的空腔,b.在该非导电结构上共形地提供第一非导电层,从而覆盖空腔的侧壁和底表面,c.以如下方式来蚀刻第一非导电层:使其从底表面的至少一部分移除,但仍覆盖侧壁,d.通过使用覆盖侧壁的第一非导电层作为掩模,蚀刻穿过底表面至多直到达到沟道,由此在非导电结构的底表面中形成开口,该开口具有被隔开小于第一距离的第二距离的各侧壁,以及e.完全移除第一非导电层
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112820646 A
(43)申请公布日 2021.05.18
(21)申请号 202011291738.X
(22)申请日 2020.11.18
(30)优先权数据
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