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2023-06-07 发布于四川
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厚尺寸红外光学材料的制备方法.pdf

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本公开提供了一种厚尺寸红外光学材料的制备方法。其包括骤：(S1)：以化学气相沉积法获得的红外光学材料为基板，研磨抛光；(S2)：对基板进行等离子清洗；(S3)：将基板放置于化学气相沉积炉的沉积室，向化学气相沉积炉中的坩埚内装入反应固体；(S4)：对化学气相沉积炉进行抽真空；(S5)：将沉积室温度缓慢升至600‑850℃之间；将坩埚的温度缓慢升至500‑800℃；(S6)：分别以反应固体的蒸气、反应气体为原料，以氩气作为反应固体的蒸气和反应气体的载气通入沉积室；(S7)：坩埚内的反应固体蒸发完毕，

(19)国家知识产权局 (12)发明专利 (10)授权公告号 CN 112813411 B (45)授权公告日 2022.07.08 (21)申请号 202011583651.X C23C 16/56 (2006.01) (22)申请日 2020.12

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