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一种高性能烧结钕铁硼的制备方法.pdf

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本申请公开了本发明公开了一种高性能烧结钕铁硼的制备方法。属于钕铁硼永磁体制备技术领域,该方法能够降烧结钕铁硼磁控溅射过程中的成本,并且减少能耗。所述方法包括如下步骤:一:制备低熔点合金靶材;二:在重稀土的金属单质溅射靶材之间,加入一块或多块低熔点合金靶材;三:使用不同厚度烧结钕铁硼工件,采用恒电流模式进行双面镀膜;四:当钕铁硼工件穿越靶材溅射区时,在已经附着于工件表面的重稀土金属膜上通过磁控溅射形成一层低熔点合金膜;五:之后继续溅射重稀土金属膜,形成多层多种金属膜结构;六:将镀膜好的工件进行高温

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112820529 A (43)申请公布日 2021.05.18 (21)申请号 202011638801.2 (22)申请日 2020.12.31 (71)申请人 宁波松科磁材有限公司

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