一种阳极氧化和磷酸扩孔交替进行制备锥形AAO的方法.pdfVIP

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2023-06-07 发布于四川
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一种阳极氧化和磷酸扩孔交替进行制备锥形AAO的方法.pdf

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本发明涉及一种多步骤交替进行制备锥形AAO的方法，首先将封装好的铝片在磷酸体系下一次阳极氧化并在铬酸和磷酸混合液下除去一次氧化层后，然后将铝片阳极氧化，并在磷酸溶液中扩孔，重复以上阳极氧化和磷酸扩孔的步骤。利用这种方法，制备了表面孔直径375nm，底部孔直径100nm，孔深度1.5μm和3μm的锥形AAO模板。通过控制氧化时间、扩孔时间和氧化次数来调节锥形AAO的孔深度、表面底部孔直径大小和孔直径变化平滑度。本发明制备的锥形AAO有序度高，参数可控，且无需物理压印，制备成本低。不仅为研究阵列结构

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112813476 A (43)申请公布日 2021.05.18 (21)申请号 202011604972.3 (22)申请日 2020.12.30 (71)申请人杭州电子科技大学地址

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