卤素检漏仪校准规范.doc

卤素检漏仪校准规范 1 范围 本规范适用于漏率为（1～15）g/a范围内的漏率型卤素检漏仪的校准。 2 引用文件 本规范引用下列文件 GB/T 3163-2007《真空技术 术语》 JJG（轻工）106-1994《卤素检漏仪》 GB/T 31473-2015 《卤素气体检漏仪》 使用本规范时，应注意使用上述所引用文件的现行有效版本。 3 术语和计量单位 3.1 卤素检漏仪halogen leak detector 用含有卤素（氟、氯、溴、碘）气体作为示漏气体的检漏仪器。 3.2 标准漏孔（可调漏率校准仪）halogen reference leak 在规定条件下，提供已知恒定漏率卤素