一种碳化硅复合靶材及其制备方法.pdfVIP

下载本文档

16
0
约1.74万字
约 12页
2023-06-07 发布于四川
举报
版权申诉

一种碳化硅复合靶材及其制备方法.pdf

1、本文档共12页，其中可免费阅读11页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明提供了一种碳化硅复合靶材及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：将碳化硅粉末、碳粉、粘结剂和溶剂混合进行湿法球磨，得到混合浆料；将混合浆料进行喷雾造粒，得到造粒粉末；将造粒粉末进行冷等静压成型，得到靶材坯料；将靶材坯料进行热压烧结，得到碳化硅复合靶材。本发明所述方法根据原料的特性选择湿法球磨工艺，再经喷雾造粒、冷等静压成型，得到粉末混合均匀、致密度高的坯料，避免热压烧结过程中出现粉末外溢和喷出的问题；再经对热压烧结工艺的控制，得到质量稳定，性能一致的靶材产品，满足后续溅射使用的性能要求；所

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112811908 A (43)申请公布日 2021.05.18 (21)申请号 202110287506.5 (22)申请日 2021.03.17 (71)申请人上海戎创铠迅特种材料有限公司

您可能关注的文档

文档评论（0）

知识产权出版社 + 关注: 官方认证

文档贡献者

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

咨询Ta 进入空间

认证主体北京中献电子技术开发有限公司

IP属地四川

统一社会信用代码/组织机构代码: 91110108102011667U

1亿VIP精品文档

更多 >

一种碳化硅复合靶材及其制备方法.pdfVIP