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本发明提供一种晶圆加工历史数据的存储和查询方法、制程控制系统，包括设备自动化系统将生产执行系统提供的制造工艺数据与产品制造设备传递工艺数据和设备数据进行整合成生产数据，并对每一批次的产品对应的生产数据生成唯一的标识符，且将所述标识符及所述标识符对应的生产数据存储至一中间系统，将所述标识符上传至设定的制造系统。本发明在记录生产数据时，通过将每一批次的产品对应的生产数据生成唯一的标识符，存储所述标识符及所述标识符对应的生产数据至一中间系统后还将标识符上传至设定的制造系统，即通过标识符将所有制造系统的
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112818180 A
(43)申请公布日 2021.05.18
(21)申请号 202011619843.1
(22)申请日 2020.12.31
(71)申请人 广州粤芯半导体技术有限公司
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