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2023-06-07 发布于四川
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一种晶圆薄膜层剥落清洗设备.pdf

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本发明公开了一种晶圆薄膜层剥落清洗设备，其结构包括工作仓、警示灯、设备箱、检修仓门、加液仓、控制面板，工作仓上端与设备箱嵌固连接，设备箱前端与警示灯间隙配合，警示灯末端与工作仓顶部螺旋连接，工作仓下端与加液仓活动配合，加液仓右侧与检修仓门铰接连接，控制面板与加液仓顶部前端嵌固连接，工作仓包括载盘台、转动座、固定块、防脱压杆，本发明通过喷液柱将其方位进行调节，和四周的喷液柱同时配合，在增压挡板的配合下将其反转轮冲击动，使得拍击块对蚀刻液进行拍打，以至射出出液孔，有效的增加了液体喷射范围，使得晶圆盘

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112820691 A (43)申请公布日 2021.05.18 (21)申请号 202110079580.8 (22)申请日 2021.01.21 (71)申请人黄嘉华地址 362

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