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2023-06-07 发布于四川
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一种钽靶材及其溅射面的处理方法.pdf

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本发明提供了一种钽靶材及其溅射面的处理方法，所述处理方法包括先后进行的车削与抛光；所述车削为采用刀片沿钽靶材的直径方向从边缘向中心进刀；所述车削包括先后进行的粗车削与精车削，且粗车削与精车削的过程中吃刀量保持恒定；所述精车削包括8‑12刀车削，且精车削的留余量为0.3‑0.6mm；所述抛光为先采用砂纸，再采用百洁布对钽靶材的车削面进行抛光处理；所述钽靶材的溅射面粗糙度Ra≤0.4μm。本发明提供的处理方法有效防止了靶材表面在加工过程中出现突起、凹坑等表面缺陷以及车削挤压层，同时避免了后期的砂轮打

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112828541 A (43)申请公布日 2021.05.25 (21)申请号 202110002846.9 (22)申请日 2021.01.04 (71)申请人宁波江丰电子材料股份有限公司

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