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衍射光学射束成形元件.pdfVIP

衍射光学射束成形元件.pdf

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    用于施加相位曲线(1043)到为了激光加工材料所设置的激光射束上的衍射光学射束成形元件具有平面构造的相位掩膜，该相位掩膜构造用于施加多个进行射束成形的相位曲线到照射到所述相位掩膜上的激光射束上。给多个进行射束成形的相位曲线中的至少一个相位曲线配属虚拟光学图像，该虚拟光学图像可以为了形成在待加工材料中的改性而成像到拉长的聚焦区。更多这种拉长的聚焦区可以在空间上补充和相互干涉，以便调制在材料中的强度曲线并且产生例如非对称性的改性区。

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112799236 A (43)申请公布日 2021.05.14 (21)申请号 202110035187.9 G02B 27/09 (2006.01)

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