烤箱及可见光通信用LED晶圆片.pdfVIP

烤箱及可见光通信用LED晶圆片.pdf

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本发明提供一种烤箱及可见光通信用LED晶圆片，所述烤箱包括：壳体，所述壳体内部设有腔室；紫外光源，所述紫外光源设置于所述壳体的至少一个表面上，且位于所述腔室内；其中，放置可见光通信用LED晶圆片于所述腔室中，所述紫外光源照射紫外线至所述LED晶圆片的表面。

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112820813 A (43)申请公布日 2021.05.18 (21)申请号 202110193606.1 (22)申请日 2021.02.20 (71)申请人聚灿

知识产权出版社有限责任公司（原名专利文献出版社）成立于1980年8月，由国家知识产权局主管、主办。长期以来，知识产权出版社非常重视专利数据资源的建设工作，经过多年来的积累，已经收藏了数以亿计的中外专利数据资源。

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