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本发明公开了一种基于腔体互联的沉积设备,包括真空调配平台(1)、至少二个反应腔室组(2)、加载腔体(3)、至少一个热型原子层沉积室(4)、至少一个预清洗腔室(5)、至少一个热处理腔室(6)和调配管理器(7);所述反应腔室组(2)、加载腔体(3)、热型原子层沉积室(4)预清洗腔室(5)和热处理腔室(6)以环绕所述真空调配平台(1)的方式布置;所述自动输送机器人(8)和所述调配管理器(7)数据通信连接,所述自动输送机器人(8)用于在所述反应腔室组(2)、加载腔体(3)、热型原子层沉积室(4)、预清洗
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利
(10)授权公告号 CN 112813422 B
(45)授权公告日 2022.02.15
(21)申请号 202011629421.2 C23C 16/455 (2006.01)
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